종형의 다단식 Chamber에 상,하로 움직이는 SLIT DOOR 를 갖춘 열풍 순환 방식 타입의 오븐입니다. LOAD시 최소 한도의 공간만을 개폐함으로써 OVEN내의 온도 변화를 최소한으로 억제하고 있습니다. 또, OVEN내에는 어떠한 구동부가 없는, 고정 카세트식이므로 Particle의 발생 및 기판의 충돌이 없습니다. 온도 분포등의 프로세스 조건이 뛰어나고, 열풍 순환 방식으로는 업계 최고 레벨을 실현하고 있습니다.

주요특징
ㆍ１０００×１０００글래스 대응
ㆍ기판표면 온도분포±3℃ (600×720size일 때, 실측값±1.5℃)
ㆍ오븐 내 기판 온도분포±5℃ (600×720size일대, 실측값±3.0℃)
ㆍ오븐 내 Clean도: Class100 이하 (실측값 0.3μ10개 이하)
ㆍ기판 온도상승 시간 5～6분 (600×720size일때?220℃도달)
ㆍ적은 Space (initial cost삭감) 적용대상
ㆍCF Post Bake
ㆍPI Post Bake
ㆍSeal 경화 더 자세한 정보 및 Spec을 원하시면 연락 부탁 드립니다.